德國Lamtech平面度儀如何實現平面度的測量?
德國Lamtech TOPOS 100 是一款非接觸式平面度測量儀器,用于精密制造表面,具有亞微米精度。 TOPOS 平面度測量儀器滿足 客觀工作測量工具的要求,用于精密部件(例如燃油噴射 系統、泵或閥門)的生產和質量控制。
TOPOS 干涉儀允許對研磨、 精加工和拋光精密部件進行非接觸式平坦度測量。 TOPOS 干涉儀根據光的放牧率原理運行。 也可以測量較粗糙的部件的平坦度,光學平面或菲佐干涉儀沒有更多的條紋圖案。 計算機根據干擾模式計算測試對象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁邊也可以測量拋光部件。 可測量多種材料: -金屬(鋼,鋁,青銅,銅等) -陶瓷 (Al2O3, 碳化硅, 碳化硅等) -塑料材料 -等 干涉儀可放置在生產線上,靠近加工機。 在整個測量區域內,精度可達 0.1µm。
德國Lamtech平面度測量儀特點:
◆ 非接觸式平面度測量接觸
◆ 高精密評估: <0.4μm
◆ 測量速度快: <3秒
◆ 可用于車間現場, 100%全檢
◆ 平面度評估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三維形貌評估軟件, 可支持CNC編程批量檢測
◆ 表面自動識別系統, 或手動區域(圓, 圓環, 矩形區域)評估
◆ 數據采集量大, 一次完成對300,000點的評估
◆ 快速生成報告并保存為.csv數據格式, 支持Q-das等統計分析軟件
◆ 廣泛應用于拋光, 研磨或細磨精密表面, 像閥門盤, 密封環等
平面度檢測儀技術參數:
型 號 | TOPOS 50 | TOPOS 100 | |
測量范圍(直徑) | 50mm | 100mm | |
參考平面平面度 | 優于0.06μm | ||
參考面材料 | 石英玻璃 | ||
靈敏度 | 0.5,1,2或4μm每紋 | ||
精度 | (0.1??0.4)um + 2%x測量值, 基于靈敏度 | ||
Z軸波動范圍 | 低于100um, 表面斜度所限制 | ||
FLTt重復性 | 優于0.01μm1) | ||
分辨率 | 優于0.01μm | ||
數據采集量 | 300,000點 | ||
測量時間 | 小于2s | ||
整體尺寸 | 560mm X 300mm X 400mm | 680mm X 440mm X 880mm | |
重量 | 34kg | 80kg |
應用示例: